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二硫化鉬FET (MoS2 FET), 二硫化鎢FET (WS2 FET), 二硒化鎢 FET(WSe2 FET), 石墨烯晶體管(GFET)等。

深圳六碳科技自建的微加工中心本學(xué)期開始對外服務(wù)。微加工中心配置:405nm激光直寫曝光機(jī),365nm紫外接觸式曝光機(jī),RIE反應(yīng)離子刻蝕機(jī),磁控濺射鍍膜機(jī),電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī),熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)等常規(guī)微加工設(shè)備。附圖8英寸石墨烯電極(石墨烯轉(zhuǎn)移到8英寸200mmm直徑氧化硅片上后激光直寫曝光,然后刻蝕圖案化,最后去膠而成)


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