二維材料器件最難的工藝部分是電極接觸,世界性難題。深圳六碳科技和復(fù)旦大學(xué),江南大學(xué),北京大學(xué),南京郵電大學(xué)合作了一篇通過soft plasma 處理MoS2 表面,從而改善電極接觸的文章:A novel contact engineering method for transistors based on two-dimensional materials,發(fā)表在Journal of Materials Science & Technology 上。歡迎大家參考。 https://doi.org/10.1016/j.jmst.2020.05.079