二硫化鎢 CVD薄膜
六碳科技目前為全世界唯一可批量化制造高質(zhì)量單層WS2薄膜的廠商。
目前最大尺寸4英寸圓片,更大尺寸(8,12英寸)即將面市。
制造方法:
化學(xué)氣相沉積法, Chemical Vapor Deposition (CVD)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介:
六碳科技的WS2薄膜分為多種:
1) 單層離散分布的三角狀單晶晶粒,三角邊長(zhǎng)一般是幾十至一百微米。
2) 由三角晶粒繼續(xù)長(zhǎng)大連在一起的單層連續(xù)薄膜。
3) 多層WS2 連續(xù)薄膜。
4) 基底:WS2可選基底較多,其中藍(lán)寶石基底為直接沉積產(chǎn)品。其他基底例如:SiO2/Si, 硅片,PET,PI,ITO,F(xiàn)TO,玻璃,金屬基底等是通過(guò)在藍(lán)寶石上生長(zhǎng)后轉(zhuǎn)移至客戶所需基底。
應(yīng)用領(lǐng)域:
光電器件,微電子器件,生物傳感,化學(xué)傳感等領(lǐng)域。
包裝及規(guī)格
10*10mm,15*15mm,20*20mm,2英寸圓片,4英寸圓片 或客戶指定的定制尺寸。
凈化抽真空包裝, 1片/盒,5片/盒。10片/盒。
典型客戶包括:
MIT、加州理工、斯坦福大學(xué);
牛津大學(xué)、曼徹斯特大學(xué);
首爾大學(xué)、韓國(guó)科學(xué)技術(shù)院(KAIST)、成均館大學(xué);
東京工業(yè)大學(xué)、村田制作所
清華大學(xué)、北京大學(xué)、中科院半導(dǎo)體所
等世界一流研究機(jī)構(gòu)。