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材料研發(fā)實(shí)驗(yàn)室
深圳六碳科技材料研發(fā)實(shí)驗(yàn)室分為CVD實(shí)驗(yàn)室, CVT晶體實(shí)驗(yàn)室以及化學(xué)合成實(shí)驗(yàn)室。
CVD實(shí)驗(yàn)室:
多種規(guī)格自制CVD合成設(shè)備,主要用于二維半導(dǎo)體薄膜的研發(fā)和生產(chǎn)。尺寸覆蓋1英寸~12英寸多種規(guī)格。
CVT實(shí)驗(yàn)室:
主要用于化學(xué)氣相傳輸法制備各種二維半導(dǎo)體晶體。擁有多套真空封管和30+套材料生長(zhǎng)設(shè)備。
化學(xué)合成實(shí)驗(yàn)室:
主要用于承擔(dān)除二維半導(dǎo)體材料以外的前沿材料的可控合成研發(fā)。配置多套通風(fēng)櫥、手套箱、液相合成、電化學(xué)合成、微波合成等基礎(chǔ)研發(fā)設(shè)備。